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3D輪廓儀可以測什么?

更新時(shí)間:2023-04-25   點(diǎn)擊次數(shù):1068次

以白光干涉技術(shù)為原理的3d光學(xué)輪廓儀,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。

 

輪廓儀.png


 

3d光學(xué)輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。它所具有技術(shù)競爭力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

 

 3d表面輪廓儀結(jié)構(gòu)組成:

 1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。

 

主要應(yīng)用領(lǐng)域:

1、用于太陽能電池測量;

2、用于半導(dǎo)體晶圓測量;

3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量;

4、用于機(jī)械部件的計(jì)量;

5、用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。

 

 3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能,以及粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,可以對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

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